国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(5) B05D003/02(2)
B82Y040/00(2) C23C014/06(2) C23C014/48(2)
C23C014/58(2) C23F001/00(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人
公开年 2010(6)
申请年 2009(4) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J