国家/地区 英国(6)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(4) G01N(2)
IPC H01L021/336(3) H01L029/16(3) H01L029/78(3)
H01L029/786(3) H01L051/05(3) H01L021/28(2)
H01L021/316(2) H01L029/06(2) H01L029/423(2)
H01L029/66(2) H01L029/76(2) H01L051/00(2)
H01L051/30(2)
发明人 LIN Y(2) LIN Y M(2)
公开年 2011(4) 2012(2)
申请年 2010(6)
专利权人 INT BUSINESS.(4) IBM UK LTD(3)