| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(4) 中国(3) 美国(3) 法国(2) |
| IPC部 |
C(6)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C23(6)
C01(3)
B82(2)
C25(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(6)
C01B(3)
B82Y(2)
C25D(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C028/00(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(3) 2011(2) |
| 申请年 |
2011(6)
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| 专利权人 |
CLOSSENVON LANKEN SCHULZ M, KADAU K
ZHANG K, XIAO X, YIN L
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J
