国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4) 中国(3) 美国(3) 法国(2)
IPC部 C(6) B(2) H(2)
IPC大类 C23(6) C01(3) B82(2)
C25(2) H01(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(3) B82Y(2)
C25D(2) H01L(2)
IPC C23C028/00(6)
发明人
公开年 2013(3) 2011(2)
申请年 2011(6)
专利权人

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J