国家/地区 韩国(8) 美国(3)
IPC部 H(7) B(5) C(5)
IPC大类 H01(7) B82(4) C01(4)
C23(3) B01(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) B82Y(3)
C23C(3) H01B(3) B01J(2)
IPC C01B031/02(4) C23C016/26(3) H01B001/04(3)
H01L021/336(3) H01L029/78(3) B01J019/08(2)
B82Y040/00(2) H01L021/268(2)
发明人 CHOI I S(3) LEE K J(3) CHOI I(2)
CHOI S Y(2) HONG B H(2) HWANG J O(2)
KIM S O(2) LEE D H(2) LEE K(2)
公开年 2012(8)
申请年 2011(8)
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(8)