国家/地区 韩国(21) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(11) H(9) B(6)
G(3)
IPC大类 H01(9) C01(7) C23(5)
B01(3) B82(3) G01(3)
C09(2)
IPC小类 C01B(7) C23C(5) B01J(3)
B82B(3) G01N(3) H01B(3)
H01L(3) H01M(2)
IPC C01B031/02(7) B82B003/00(3) C23C016/26(3)
C01B031/04(2) C23C016/06(2) C23C016/44(2)
C23C016/455(2) G01N027/12(2)
发明人 SEO T S(4) KIM D(3) CHO B J(2)
CHOI S J(2) HA H D(2) HAN D J(2)
JEON S(2) MUN J H(2)
公开年 2014(13) 2015(7)
申请年 2013(21)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(21)