国家/地区 韩国(11) 美国(3)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(7) C23(5) H01(4)
B01(3) B82(2) C09(2)
IPC小类 C01B(7) C23C(5) B01J(3)
B82B(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(7) C23C016/26(3) B82B003/00(2)
C01B031/04(2) C23C016/06(2) C23C016/44(2)
C23C016/455(2)
发明人 SEO T S(4) CHO B J(2) HA H D(2)
HAN D J(2) MUN J H(2)
公开年 2014(7) 2015(3)
申请年 2013(11)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(11)