国家/地区 中国(6) 美国(6) 世界知识产权组织(4) 新加坡(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) B32(4) B82(4)
C01(4) H01(4) G01(3)
G02(3) G06(2) G09(2)
IPC小类 C23C(10) B32B(4) B82Y(4)
C01B(4) G02F(3) H01L(3)
G01N(2) G02B(2) G06F(2)
H01G(2)
IPC C23C016/26(10)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2) WANG Y(2)
公开年 2014(5) 2013(4)
申请年 2013(10)
专利权人 SHENZHEN CHI.(2) UNIV SINGAPO.(2) WANG Y(2)

BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M