| 国家/地区 | 中国(6) 美国(6) 世界知识产权组织(4) 新加坡(2) |
| IPC部 |
C(10)
|
| IPC大类 |
C23(10)
B32(4)
B82(4)
C01(4) H01(4) G01(3) G02(3) G06(2) G09(2) |
| IPC小类 |
C23C(10)
B32B(4)
B82Y(4)
C01B(4) G02F(3) H01L(3) G01N(2) G02B(2) G06F(2) H01G(2) |
| IPC |
C23C016/26(10)
|
| 发明人 |
OEZYILMAZ B(2)
OZYILMAZ B(2)
WANG Y(2)
|
| 公开年 | 2014(5) 2013(4) |
| 申请年 |
2013(10)
|
| 专利权人 | SHENZHEN CHI.(2) UNIV SINGAPO.(2) WANG Y(2) |
BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
XU K, MA F, MA D, LIAN L
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
JIN H, PENG P, WU W, ZHOU Z
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
LI G, WANG Y, LEE K
