国家/地区 美国(16) 世界知识产权组织(6) 韩国(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 B(16)
IPC大类 H01(16) B82(13) C01(8)
B32(3) C23(3) B05(2)
B29(2) C07(2) C08(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(16) B82Y(13) C01B(8)
B32B(3) C23C(3) H01B(3)
B05D(2) B29C(2) B82B(2)
C07C(2) C07D(2) C08G(2)
G01N(2)
IPC H01L051/00(16)
发明人 AFZALIARDAKANI A(2) DIMITRAKOPOULOS C D(2) GRILL A(2)
HAN S(2)
公开年 2014(11) 2013(4)
申请年 2013(16)
专利权人 INT BUSINESS.(4)