国家/地区 |
美国(8)![]() |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C23(8)
C01(6)
H01(6)
C25(3) C30(3) H05(2) |
IPC小类 |
C23C(8)
C01B(6)
C25D(3)
C30B(3) H01L(3) H01G(2) H01J(2) H05K(2) |
IPC |
C23C014/34(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(4) 2017(3) |
申请年 |
2016(8)![]() |
专利权人 |
HUANG Y, HU C, HU Q, HUANG Y C, HU C L
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J