国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(6) H01(6)
C25(3) C30(3) H05(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(6) C25D(3)
C30B(3) H01L(3) H01G(2)
H01J(2) H05K(2)
IPC C23C014/34(8)
发明人
公开年 2016(4) 2017(3)
申请年 2016(8)
专利权人