国家/地区 | 美国(7) 中国(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)![]() |
IPC小类 |
C23C(10)
C01B(8)
H01L(7)
B01J(3) B32B(3) B82Y(3) C25D(2) C30B(2) H01B(2) H01M(2) |
IPC |
C23C016/26(10)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(5) 2017(4) |
申请年 |
2016(10)![]() |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
LUTZ T, PURKL F, ROELVER R, ROHLFING F
TOMOVIC Z, WEBER N, BINDER A, WAGNER N
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
KIM H, JANG B, KWON G H, KIM H Y, JANG B Y
ZARETSKI A, LIPOMI D J