国家/地区 中国(10) 韩国(8) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 台湾(2)
IPC部 C(21) H(7) G(5)
B(4)
IPC大类 C23(21) H01(7) C01(5)
B32(3) C25(3) G01(2)
G03(2)
IPC小类 C23C(21) C01B(5) H01L(5)
B32B(3) C25D(3) C23F(2)
G03F(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(21)
发明人 BAE S(2) CHEN C(2) CHENG H(2)
TU C(2)
公开年 2018(21)
申请年 2016(21)
专利权人 INST METAL R.(2) KOREA INST S.(2) TAIWAN SEMIC.(2) UNIV PEKING(2)