国家/地区 | 中国(10) 韩国(8) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 台湾(2) |
IPC部 |
C(21)
H(7)
G(5)
B(4) |
IPC大类 |
C23(21)
H01(7)
C01(5)
B32(3) C25(3) G01(2) G03(2) |
IPC小类 |
C23C(21)
C01B(5)
H01L(5)
B32B(3) C25D(3) C23F(2) G03F(2) H01B(2) |
IPC |
C23C016/26(21)![]() |
发明人 |
BAE S(2)
CHEN C(2)
CHENG H(2)
TU C(2) |
公开年 |
2018(21)![]() |
申请年 |
2016(21)![]() |
专利权人 |
INST METAL R.(2)
KOREA INST S.(2)
TAIWAN SEMIC.(2)
UNIV PEKING(2)
|
BAE S, KIM S J, RHO H K, LEE S K, KIM T W, LEE D S, LEE S H
LIST F A, STEHLE Y Y, VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N
ZENG Y, WANG H, YING Z, MA C, CHENG H
YANG L, CHEN Z, XU X, ZHANG J, YIN L, WU H, LIAO W, LI Q, BECK T J
CAI H, DUAN C, HVIID L, QIAO L, WANG Y
DUAN X, ZHAO S, LIU X, XU Z