国家/地区 美国(9) 中国(5) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) H01L(9) C23C(6)
B01J(5) B82Y(4) B32B(2)
C25D(2)
IPC H01L021/02(9)
发明人 CHO S(2) CHO S M(2) PARK C(2)
PARK C H(2) SEO S(2) SEO S A(2)
SHIN S(2) SHIN S M(2)
公开年 2017(6) 2016(3)
申请年 2016(9)
专利权人 HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG ELEC.(2)