国家/地区 美国(8) 韩国(7) 中国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 B01J(10)
IPC C01B031/04(7) C23C016/26(7) C01B031/02(4)
B01J019/08(3) B01J023/755(3) B82Y030/00(3)
C23C016/01(3) C23C016/02(3) H01L021/02(3)
B01J021/04(2) B01J023/72(2) B01J027/24(2)
B82Y040/00(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2016(5) 2017(4)
申请年 2016(10)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)