国家/地区 日本(8)
IPC部 H(8) C(4) B(3)
G(2)
IPC大类 H01(8) C01(4) B82(3)
C08(2) C23(2) G01(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(4) B82Y(3)
C08G(2) C23C(2) G01J(2)
IPC H01L051/05(4) C01B032/184(3) H01L051/30(3)
B82Y020/00(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
G01J001/02(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2) H01L031/08(2)
发明人 YAMAGUCHI J(3) HAYASHI H(2) YAMADA Y(2)
公开年 2020(4) 2021(3)
申请年 2019(8)
专利权人 FUJITSU LTD(8)