| 国家/地区 | 中国(15) 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
C(18)
H(8)
B(6)
G(2) |
| IPC大类 |
C23(18)
|
| IPC小类 |
C23C(18)
C01B(8)
H01L(5)
B82Y(2) C22C(2) C23F(2) H01J(2) H01M(2) |
| IPC |
C23C016/56(18)
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| 发明人 | MA Y(2) |
| 公开年 | 2021(10) 2022(7) |
| 申请年 |
2021(18)
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| 专利权人 |
SHI P, SHEN Z, LIN Z, ZHONG Y
GONG M, SUN B, WANG Y, CHEN Q, YANG W, LI Y, LIANG J, LIU B, ZHANG X, PEI Z
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
CHEN X, LI Z, WANG M, MA Y
