国家/地区 中国(15) 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2)
IPC部 C(18) H(8) B(6)
G(2)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) C01B(8) H01L(5)
B82Y(2) C22C(2) C23F(2)
H01J(2) H01M(2)
IPC C23C016/56(18)
发明人 MA Y(2)
公开年 2021(10) 2022(7)
申请年 2021(18)
专利权人