国家/地区 日本(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(6) B01(2)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC H01L029/786(4) C01B032/186(3) B82Y040/00(2)
C01B032/182(2) H01L021/02(2) H01L021/336(2)
H01L031/08(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 HAYASHI K(4) KONDO O(3) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2022(5) 2023(2)
申请年 2021(8)
专利权人 FUJITSU LTD(8)