国家/地区 | 日本(8) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)
H01(6)
B01(2)
B82(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
H01L029/786(4)
C01B032/186(3)
B82Y040/00(2)
C01B032/182(2) H01L021/02(2) H01L021/336(2) H01L031/08(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) |
发明人 |
HAYASHI K(4)
KONDO O(3)
YAMAGUCHI J(2)
|
公开年 | 2022(5) 2023(2) |
申请年 |
2021(8)![]() |
专利权人 |
FUJITSU LTD(8)![]() |
HAYASHI K, KONDO O
YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y