国家/地区 | 中国(5) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/56(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(4) 2022(3) |
申请年 |
2021(8)![]() |
专利权人 |
GONG M, SUN B, WANG Y, CHEN Q, YANG W, LI Y, LIANG J, LIU B, ZHANG X, PEI Z
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
SINITSKII A, TORRES A, LI G