国家/地区 中国(4) 韩国(2)
IPC部 C(6) H(6)
IPC大类 C30(6) H01(6) C23(2)
IPC小类 C30B(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人
公开年 2021(6)
申请年 2021(6)
专利权人