国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/26(5) B82Y040/00(4) C01B032/05(4)
C01B032/194(4) B82Y030/00(3) C01B032/186(3)
C23C016/44(3) C23C016/56(3) H01L021/02(3)
H01M004/38(3) H01M004/62(3) H01M010/0525(3)
C01B032/182(2) C01B033/02(2) C23C014/24(2)
发明人
公开年 2021(9) 2022(2)
申请年 2021(11)
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)