国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 H01(7) C09(3) C30(3)
C23(2)
IPC小类 H01L(7)
IPC C30B029/40(3) C30B025/18(2)
发明人 YANG H(2)
公开年 2023(7)
申请年 2023(7)
专利权人