国家/地区 法国(8) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 美国(4) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(7) B(6) H(3)
IPC大类 C01(7) B82(6) C23(4)
C30(3) H01(3) B01(2)
IPC小类 C01B(7) B82Y(6) C23C(4)
C30B(3) H01L(3) B01J(2)
IPC B82Y040/00(6) C01B031/02(6) C01B031/04(6)
B82Y030/00(4) C23C016/26(4) H01L029/16(3)
B01J023/76(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
公开年 2013(6) 2012(2)
申请年 2011(8)
专利权人 CENT NAT RECH SCI(8)