国家/地区 韩国(12) 美国(9)
IPC部 H(7) C(6) G(6)
B(4)
IPC大类 H01(6) C01(5) G01(3)
G02(3) B82(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) G02B(3)
G01N(2) G02F(2) H01B(2)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) G02B006/12(2)
G02F001/01(2) H01B005/14(2) H01B013/00(2)
H01L031/0224(2) H01L031/028(2)
发明人 YU Y J(12)
公开年 2014(5) 2015(3) 2016(3)
申请年 2014(5)  2013(3)  2016(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(12)