国家/地区 韩国(14) 美国(11)
IPC部 H(8) B(5) C(5)
G(3)
IPC大类 H01(8) C01(4) B82(3)
C23(3) B01(2) G02(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) B82Y(3)
C23C(3) B01D(2) G02B(2)
IPC C01B031/02(3) B01D069/02(2) B82Y040/00(2)
B82Y099/00(2) C23C016/26(2) H01L029/78(2)
发明人 CHOI S Y(3) KIM J T(3) PARK K(3)
KIM J(2) KIM J Y(2)
公开年 2012(6) 2013(5) 2011(2)
申请年 2011(5)  2012(5)  2010(3) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(14)