| 国家/地区 | 韩国(14) 美国(11) |
| IPC部 |
H(8)
B(5)
C(5)
G(3) |
| IPC大类 |
H01(8)
C01(4)
B82(3)
C23(3) B01(2) G02(2) |
| IPC小类 |
H01L(7)
C01B(4)
B82Y(3)
C23C(3) B01D(2) G02B(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
B01D069/02(2)
B82Y040/00(2)
B82Y099/00(2) C23C016/26(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
CHOI S Y(3)
KIM J T(3)
PARK K(3)
KIM J(2) KIM J Y(2) |
| 公开年 | 2012(6) 2013(5) 2011(2) |
| 申请年 | 2011(5) 2012(5) 2010(3) |
| 专利权人 |
ELECTRONICS TELECOM RES INST(14)
|
YUN Y J, YU H Y, KIM Y Y, JANG W I, JU Y Y, YOUNGYU H, YEONKIM Y, ICKJANG W
YOUN D H, CHOI S, CHOI H, KIM J, CHOI S Y
LEE D S, PARK S H, CHOI S Y, JUNG M Y, KIM S H
KIM W, YOON H G, KU K H, KIM B W
KIM D, BAEK K, PARK K, PARK J M, KIM Z S, KIM J Y, JEONG Y S, DO L, KIM D P, BAEK K H, DO LEE M
