国家/地区 韩国(6) 美国(3)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
IPC大类 H01(4) B82(3) C01(3)
C23(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) H01L(3)
C23C(2)
IPC B82Y040/00(2) B82Y099/00(2) C01B031/02(2)
发明人 PARK K(3) CHOI S Y(2) KIM J Y(2)
公开年 2012(6)
申请年 2011(5) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(6)