| 国家/地区 | 韩国(6) 美国(3) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(4)
|
| IPC大类 |
H01(4)
B82(3)
C01(3)
C23(2) |
| IPC小类 |
B82Y(3)
C01B(3)
H01L(3)
C23C(2) |
| IPC |
B82Y040/00(2)
B82Y099/00(2)
C01B031/02(2)
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| 发明人 |
PARK K(3)
CHOI S Y(2)
KIM J Y(2)
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| 公开年 |
2012(6)
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| 申请年 | 2011(5) |
| 专利权人 |
ELECTRONICS TELECOM RES INST(6)
|
LEE D S, PARK S H, CHOI S Y, JUNG M Y, KIM S H
KIM W, YOON H G, KU K H, KIM B W
KIM D, BAEK K, PARK K, PARK J M, KIM Z S, KIM J Y, JEONG Y S, DO L, KIM D P, BAEK K H, DO LEE M
