国家/地区 日本(6) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 台湾(2)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 H01L(4) C01B(3)
IPC H01L029/786(4) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
C01B032/182(3) H01L021/28(3) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L051/05(3)
H01L051/30(3) H01L051/40(3) H01L021/02(2)
H01L021/336(2)
发明人 SATO S(4) YAMAGUCHI J(3)
公开年 2014(2) 2015(2) 2016(2)
申请年 2014(6)
专利权人 FUJITSU LTD(6)