国家/地区 日本(6) 美国(3)
IPC部 H(5) C(4) G(2)
IPC大类 H01(5) C01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) G01N(2)
IPC H01L051/30(4) H01L051/40(4) C01B031/02(3)
H01L021/336(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3)
G01N027/12(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/778(2)
发明人 JIPPO H(2) SATO S(2)
公开年 2016(4) 2015(2)
申请年 2015(7)
专利权人 FUJITSU LTD(7)