国家/地区 日本(7) 台湾(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(5) C(4) B(3)
IPC大类 H01(5) C01(4) B82(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) B82Y(2)
IPC C01B031/02(4) H01L029/06(4) C01B032/182(3)
H01L021/28(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3)
H01L051/30(3) H01L051/40(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
H01L021/3205(2) H01L021/336(2) H01L021/768(2)
发明人 SATO S(3) JIPPO H(2)
公开年 2014(7)
申请年 2013(3)  2012(2)  2014(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(7)