| 国家/地区 | 日本(7) |
| IPC部 |
H(7)
G(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(7)
G01(3)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(7)
G01J(3)
C01B(2)
|
| IPC |
G01J001/02(3)
H01L031/08(3)
C01B032/184(2)
H01L031/10(2) |
| 发明人 | MIYATAKE T(2) YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 |
2021(7)
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| 申请年 | 2019(3) 2020(3) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(7)
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