国家/地区 日本(7)
IPC部 H(7) G(3) C(2)
IPC大类 H01(7) G01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(7) G01J(3) C01B(2)
IPC G01J001/02(3) H01L031/08(3) C01B032/184(2)
H01L031/10(2)
发明人 MIYATAKE T(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2021(7)
申请年 2019(3)  2020(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(7)