国家/地区 日本(9)
IPC部 H(8) G(4) B(3)
C(3)
IPC大类 H01(7) G01(4) H10(4)
C01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(7) G01J(4) C01B(3)
H10K(3) B82Y(2) G01N(2)
IPC G01J001/02(4) H01L029/786(3) H10K071/10(3)
H10K085/20(3) B82Y040/00(2) H01L021/336(2)
H01L027/146(2) H01L029/16(2) H01L031/0232(2)
H10K010/40(2)
发明人 HAYASHI K(2) KONDO D(2) SUDA S(2)
YAMASHITA H(2)
公开年 2023(10)
申请年 2021(8) 
专利权人 FUJITSU LTD(10)