国家/地区 美国(26)
IPC部 H(20) C(17) B(13)
G(6)
IPC大类 H01(19) C01(17) B82(11)
G01(5) C08(4) C07(3)
C23(3)
IPC小类 H01L(19) C01B(17) B82Y(11)
C08G(4) G01J(4) C07C(3)
C23C(2) G01N(2)
IPC H01L029/16(14) C01B031/02(11) H01L029/786(11)
H01L051/05(11) H01L021/02(10) H01L051/30(10)
H01L029/06(9) H01L029/66(9) B82Y040/00(8)
H01L021/336(8) B82Y030/00(7) C01B031/04(6)
C01B032/182(6) H01L021/28(6) H01L029/778(6)
发明人 SATO S(12) KONDO D(6) HAYASHI K(5)
YAMAGUCHI J(5) KONDO T(3) OHTOMO M(3)
OTOMO M(3) HARADA N(2) IWAI T(2)
JIPPO H(2) SATO M(2)
公开年 2015(4) 2014(3) 2018(3) 2010(2) 2013(2) 2017(2) 2020(2) 2022(2)
申请年 2014(4)  2009(3)  2015(3)  2016(3)  2013(2)  2018(2)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(26)