国家/地区 韩国(8) 美国(8) 中国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(8) B(7) H(4)
IPC大类 C01(8) B82(5) C23(4)
H01(4) B01(2) B29(2)
B32(2) B41(2)
IPC小类 C01B(8) B82Y(5) C23C(4)
H01L(4) B01J(2) B29C(2)
B32B(2) B41M(2) B82B(2)
IPC C01B031/04(6) C01B031/02(5) B82Y040/00(4)
H01L021/02(4) H01L029/16(4) B82Y030/00(3)
B32B037/02(2) B32B037/14(2) B32B038/10(2)
B82B003/00(2) C23C016/26(2) H01L029/786(2)
H01L051/52(2)
发明人 CHO S(8)
公开年 2012(3) 2011(2) 2017(2)
申请年 2011(5)  2016(2) 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(8)