国家/地区 日本(12) 美国(7) 世界知识产权组织(4)
IPC部 H(9) B(7) C(7)
G(3)
IPC大类 H01(9) C01(6) B82(4)
B01(2) B32(2) G01(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(6) B82Y(4)
B01D(2) B32B(2) G01N(2)
H01B(2)
IPC H01L029/786(7) C01B031/02(5) H01L021/336(5)
H01L029/06(5) B82Y040/00(3) B82Y099/00(2)
G01N027/00(2) H01B001/04(2) H01L021/20(2)
H01L021/28(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(9) HIROOKA M(6) HIROKA M(4)
WADA Y(3)
公开年 2010(4) 2022(3) 2011(2) 2012(2)
申请年 2010(4)  2009(2)  2011(2)  2021(2) 
专利权人 HITACHI LTD(13)