国家/地区 日本(7)
IPC部 H(6) C(5) B(4)
G(2)
IPC大类 H01(6) C01(4) B82(3)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) B82Y(3)
H01B(2)
IPC H01L029/786(5) H01L029/06(4) C01B031/02(3)
H01L021/336(3) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
H01B001/04(2) H01L021/20(2) H01L021/28(2)
H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(6) HIROOKA M(5) HIROKA M(3)
WADA Y(2)
公开年 2010(4) 2011(2)
申请年 2010(3)  2009(2) 
专利权人 HITACHI LTD(7)