国家/地区 中国(6)
IPC部 H(6)
IPC大类 H01(6)
IPC小类 H01L(6)
IPC H01L031/0216(3) H01L031/18(3) H01L031/0224(2)
发明人 DAI X(4) JIA R(4) JIN Z(4)
LIU X(4) SUN H(4) TAO K(4)
GUI Y(2)
公开年 2017(6)
申请年 2016(6)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(6)