国家/地区 中国(7) 美国(4) 世界知识产权组织(4)
IPC部 H(7) B(2)
IPC大类 H01(6) B82(2)
IPC小类 H01L(6) B82Y(2)
IPC H01L021/336(4) H01L029/06(4) H01L029/78(4)
B82Y040/00(2) B82Y099/00(2) H01L021/28(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/775(2)
H01L029/786(2)
发明人 LIANG Q(7)
公开年 2013(4)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(7)