国家/地区 韩国(7) 美国(5)
IPC部 C(6) H(4) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(4) B82(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(5) C01B031/02(3) H01L029/786(2)
发明人 KIM C(2) KIM J H(2) KIM S H(2)
LEE S(2) LEE T(2) SEO M A(2)
SONG Y W(2) WOO D H(2) YI J C(2)
公开年 2015(5)
申请年 2014(7)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(7)