| 国家/地区 | 韩国(7) 美国(5) |
| IPC部 |
C(6)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 |
C01(5)
H01(4)
B82(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(5)
H01L(3)
C23C(2)
|
| IPC |
C01B031/04(5)
C01B031/02(3)
H01L029/786(2)
|
| 发明人 |
KIM C(2)
KIM J H(2)
KIM S H(2)
LEE S(2) LEE T(2) SEO M A(2) SONG Y W(2) WOO D H(2) YI J C(2) |
| 公开年 | 2015(5) |
| 申请年 |
2014(7)
|
| 专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(7)
|
LEE S H, RHO H K, KIM T W, BAE S K, SON D I
KIM S H, KIM J H, KIM C, MOON K, SEO M A, WOO D H, LEE S, YI J C, LEE T, CHUNG Y
BONG J H, CHO B J, SUL O, YOON H A, ALEXANDER Y H, SUL W J, CAO B, FENG Z, XUE W, CHO B, BONG J
KU B C, PARK O K, KIM H J, JOH H I, HWANG J Y, YOU N H, LEE J K
KIM C, KIM Y J, JUNG Y M, JUN S C, LEE T, LEE S, BYUN Y T, WOO D H, KIM S H, SEO M A, KIM J H, YI J C
LIM J A, SONG Y, HONG J, CHANG J Y, SONG Y W, HONG J M
