国家/地区 日本(16) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(11) H(8) B(7)
G(6)
IPC大类 C01(11) H01(7) B32(5)
C23(4) G01(4) B82(3)
H05(3)
IPC小类 C01B(11) B32B(5) C23C(4)
B82Y(3) G01N(3) H01B(3)
H01L(3) H05B(3) H01J(2)
IPC C01B031/02(7) B32B009/00(4) C01B032/194(4)
B82Y040/00(3) H01B001/04(3) B82Y030/00(2)
C01B031/04(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) G01N001/28(2) H01J037/20(2)
发明人 HASEGAWA M(16)
公开年 2021(5) 2014(4) 2016(3)
申请年 2012(3)  2019(3)  2013(2)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(16)