国家/地区 日本(6) 台湾(4) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 B(5) H(5) C(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(4)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) H01L(4)
IPC B82Y040/00(4) C01B031/02(4) B82Y030/00(3)
H01L021/28(3) H01L021/336(3) H01L029/78(3)
C01B031/04(2) H01L021/285(2) H01L029/06(2)
H01L029/417(2)
发明人 HASEGAWA M(2) ISHIHARA M(2) KAWABATA A(2)
OKIKAWA Y(2)
公开年 2014(7)
申请年 2013(7)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(7)