国家/地区 美国(14)
IPC部 C(11) H(10) B(6)
IPC大类 H01(10) C01(9) B01(4)
B82(4) C23(4)
IPC小类 C01B(9) H01L(6) B01J(4)
B82Y(4) C23C(4) H01B(2)
H01R(2)
IPC C01B031/02(7) C01B032/182(5) H01L029/06(5)
H01L029/786(5) B82Y030/00(4) C01B031/04(4)
H01L029/16(4) H01L029/66(4) B82Y040/00(3)
H01L021/02(3) H01L021/28(3) H01L021/336(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) B01J019/12(2)
发明人 SATO S(4) YAMAGUCHI J(3) HASEGAWA M(2)
HASEGAWA MASATAKA(2) HO K J(2) IIJIMA S(2)
IIJIMA SUMIO(2) ISHIHARA M(2) ISHIHARA MASATOU(2)
JAEHO K(2) KIM J(2) KIM JAEHO(2)
KOGA Y(2) KOGA YOSHINORI(2) MASATAKA H(2)
公开年 2014(4) 2021(3) 2015(2)
申请年 2014(4)  2013(3)  2020(3) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(14)