国家/地区 英国(26) 世界知识产权组织(18) 美国(11) 德国(7) 中国(6) 台湾(5) 韩国(3) 日本(2)
IPC部 H(24) C(15) G(12)
B(6)
IPC大类 H01(21) C01(12) C23(10)
G01(9) B82(4) C30(3)
G02(3) H10(3) H02(2)
IPC小类 H01L(21) C01B(12) C23C(10)
G01R(7) B82Y(4) C30B(3)
G02F(3) H10N(3) H02N(2)
IPC H01L029/16(13) C01B032/186(11) C23C016/26(9)
H01L021/02(8) C01B032/182(6) G01R033/07(6)
G01R033/00(5) H01L029/66(5) C23C016/02(4)
H01L043/14(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C23C016/455(3) C30B025/18(3) C30B029/02(3)
发明人 GUINEY I(19) THOMAS S(14) DIXON S(10)
GLASS H(8) BADCOCK T J(7) WALLIS R(6)
KAINTH J(5) TYLER M(5) BAINES R(4)
BIDDULPH P D(4) GRIFFIN R M(4) LEE L Y(3)
GLASS H F J(2) GRIFFITHS J(2) JAGT R(2)
公开年 2022(17) 2021(6) 2023(4)
申请年 2021(12)  2022(9)  2020(5) 
专利权人 PARAGRAF LTD(28)