国家/地区 英国(6) 世界知识产权组织(6) 美国(5) 中国(4) 德国(4) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 H(6) C(5) B(4)
G(2)
IPC大类 H01(5) C01(4) C23(3)
B82(2) G01(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) C23C(3)
B82Y(2) G01R(2)
IPC C01B032/186(4) H01L029/16(4) C01B032/182(3)
C23C016/26(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) C23C016/56(2)
G01R033/00(2) G01R033/07(2)
发明人 GLASS H(4) GUINEY I(4) THOMAS S(4)
TYLER M(4) WALLIS R(3) TAYLOR M(2)
公开年 2021(6)
申请年 2020(4) 
专利权人 PARAGRAF LTD(6)