国家/地区 韩国(7) 美国(2)
IPC部 C(5) H(5)
IPC大类 C23(4) H01(4) C01(2)
IPC小类 C23C(4) H01L(4) C01B(2)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(2) C23C016/02(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L051/00(2)
发明人 CHO K W(7)
公开年 2020(3)
申请年 2019(4)  2018(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(7)