| 国家/地区 | 韩国(7) 美国(2) |
| IPC部 | C(5) H(5) |
| IPC大类 |
C23(4)
H01(4)
C01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(4)
H01L(4)
C01B(2)
|
| IPC |
C23C016/26(4)
C01B032/186(2)
C23C016/02(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L051/00(2) |
| 发明人 |
CHO K W(7)
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| 公开年 | 2020(3) |
| 申请年 | 2019(4) 2018(2) |
| 专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(7)
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CHO K, MOON W, LEE S, KIM J, CHO K W, MOON W K, KIM J S
CHO K W, LEE H C, YOO M S, CHUNG H J
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W, ZHAO J, YU M, LI X
