国家/地区 韩国(9) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9) C01(6) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C23C(9)
IPC C23C016/26(7) C01B031/02(3) C01B032/186(3)
C23C016/02(3) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/04(2) C23C016/448(2) C23C016/455(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHO K W(4) CHO K(2) CHOI H C(2)
HWANG C C(2) LEE E(2) LEE H C(2)
YOO M S(2)
公开年 2012(2) 2020(2)
申请年 2019(3)  2011(2)  2018(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(9)

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H