国家/地区 韩国(8)
IPC部 C(4) B(2) H(2)
IPC大类 C01(4) C23(4) H01(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) H01L(2)
IPC C01B031/02(4) C23C016/26(3)
发明人 CHO S M(4) WON D K(4) AHN J H(3)
HONG B H(3) RYU J C(2) SONG Y I(2)
公开年 2011(4) 2012(4)
申请年 2010(8)
专利权人 SAMSUNG TECHWIN CO LTD(8)