国家/地区 中国(10)
IPC部 C(5) H(5) A(2)
B(2)
IPC大类 C01(5) H01(5) A61(2)
B82(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(5) A61L(2)
B82Y(2)
IPC C01B031/04(5) H01L021/336(4) B82Y040/00(2)
H01L021/28(2)
发明人 XIE X(10)
公开年 2014(8)
申请年 2014(10)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)