国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7) H(2)
IPC大类 C01(6) H01(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(2)
IPC C01B032/186(4) C01B031/04(3)
发明人 ZHENG X(7)
公开年 2015(4) 2017(3)
申请年 2015(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)