国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9) B(2) G(2)
IPC大类 C01(4) C23(4) B32(2)
C03(2) G01(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) B32B(2)
G01N(2)
IPC B32B009/00(2) C01B031/04(2) C01B032/194(2)
C23C016/26(2)
发明人 CHEN Z(6) SUI Y(6) YU G(6)
ZHANG Y(6) GE X(5) HU S(5)
LIANG Y(5) DENG R(4)
公开年 2017(9)
申请年 2016(9)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)