| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 | C01(4) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(4) H01L(2) |
| IPC | C01B032/186(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
XIE X(3)
DING G(2)
SHI Z(2)
YANG S(2) YU G(2) YU Q(2) |
| 公开年 |
2020(8)
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| 申请年 |
2019(8)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)
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ZHU H, WU T, CHEN J, ZHANG C, SHI Z, YU G
DONG H, LI Y, YANG S, DING G, XIE X
OU X, YI A, LIN J, ZHANG S, YU Q, XIE X
ZHANG M, WANG Y, LI P, XUE Z, DI Z
CHEN Z, YU G, ZHANG Y, SUI Y, LIANG Y, HU S, LI J, KANG H, WANG S
