国家/地区 中国(8)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(4) H01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(2)
IPC C01B032/186(2) H01L029/16(2)
发明人 XIE X(3) DING G(2) SHI Z(2)
YANG S(2) YU G(2) YU Q(2)
公开年 2020(8)
申请年 2019(8)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)