国家/地区 中国(30)
IPC部 C(21) G(8) H(2)
IPC大类 C01(11) C23(8) G01(8)
C30(5) C03(2) H01(2)
IPC小类 C01B(11) C23C(8) G01N(7)
C30B(5) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(4) C30B029/02(4)
C01B032/194(3) C23C016/02(3) C01B032/184(2)
C23C016/56(2) C30B025/18(2) G01N001/32(2)
H01L021/28(2)
发明人 CHEN Z(30)
公开年 2017(9) 2015(7) 2013(5) 2014(4) 2020(2)
申请年 2014(7)  2016(7)  2015(6)  2013(4)  2012(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(30)