国家/地区 世界知识产权组织(9)
IPC部 C(9) B(4)
IPC大类 C01(9) C23(6) B82(3)
C30(3)
IPC小类 C01B(9) C23C(6) B82Y(3)
C30B(3)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(5) B82Y040/00(3)
C01B032/186(3) C23C016/02(3) B82Y030/00(2)
C23C016/50(2) C30B029/02(2)
发明人 XIE X(9)
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2)  2019(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)